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東北大学大学院ファインメカニクス専攻ナノメカニクス講座オプトメカニクス分野
羽根・胡研究室/金森研究室
羽根・佐々木研究室 研究概要 (pdf)

金森研究室 研究概要 (pdf)

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羽根 一博

金森 義明

佐々木 敬
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Si表面流動による微細加工
サブ波長格子(SWS)による
反射低減(in English)

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新しい立体構造をもつ
光スキャナ

ウエハ折り曲げプロセスで作った
光スキャナ

Siのバックリングを利用した
光スキャナ



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光減衰器用
マイクロミラーアレイ

面内駆動型
櫛歯形電極アクチュエータ

光ファイバ駆動カム型アクチュエータ



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ダイアフラム型アクチュエータ
D型光ファイバ面上に製作した
ダイアフラム型光減衰器

通信用MEMSのための集積化技術



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光ファイバスイッチ
表面マイクロマシンニングによる
ファブリ・ペローフィルタ

ファイバーグレーティング
波長可変フィルタ




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レジスト
噴霧装置

ファイバーグレーティングを
ねじるための
電磁アクチュエータ

SNOM データ記録のためのプローブ (in English)
ナノシステム工学
(光と機械のナノシステム: 光センサとメカトロニクス、光集積機械システム、光新材料)

 ナノシステム工学ではナノメートルスケールの構造や制御を必要とする機械システムを研究しています。小さい機械システムとして発展が期待される分野の一つは光応用機械ですが、身近な装置として光ディスクやマイクロミラーディスプレイが挙げられます.ナノ機械構造による光の制御,マイクロ・ナノアクチュエータを組み込んだ光集積システムなどを研究しています。(詳細は本文をクリック)



光センサとメカトロニクス

 近年、各種の産業機械の高精度化に伴い、精密な位置決め技術が要望されています。ロボットや工作機械の位置や角度の検出に必要な種々の光センサ(レーザ干渉計、光エンコーダなど)を研究しています。(詳細は本文をクリック)


光集積機械システム

 マイクロレンズやマイクロミラーと微小機械を集積したシステムとしてマイクロカメラ、ディスプレイなどが挙げられます。また、光通信用のマイクロ光スイッチや可変フィルタなども微細構造を用いた集積機械です。種々の光集積機械システム(光スキャナ、可変フィルタなど)を研究しています。(詳細は本文をクリック)



光新材料

 GaN系半導体は青色光源材料として注目されています。光集積機械システムのための光源を一体に製作するため、GaN系半導体の光デバイス(量子井戸、発光ダイオード)を研究しています。


ナノ光学

 波長よりも小さい微細構造を製作することで,光の反射を低減することができます.また,色素がなくても干渉や散乱の効果で色を発生することができます.発光素子の高効率化や光フィルタに利用する研究を行っています.光を閉じ込めるフォトニック結晶やシリコン細線導波路の研究も行っています.


バイオミメティクス(生体模倣技術)を応用したナノ光機械・超微細構造

 バイオミメティクスを応用した高効率なナノ光機械・微細構造の開発と快適情報環境を実現するナノシステムの実現を目指した研究をしています。(詳細は本文をクリック)


東北大学大学院ファインメカニクス専攻ナノメカニクス講座オプトメカニクス分野
羽根・佐々木研究室/金森研究室トップ > 研究紹介
羽根・佐々木研究室/金森研究室
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透過型位置センサ (in English)
投影型エンコーダ (in English)
Si薄膜
フォトダイオードを
用いた干渉計
(in English)

研究概要
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