光ファイバ駆動カム型アクチュエータ


Surface Micromachineの代表的なアクチュエータにScratch Drive Actuator (1993年Dr.秋山の発明) がある。これを円盤と組み合わせてカム構造にし、メカニカルなラッチ機構付きの光ファイバ駆動アクチュエータにした。
円盤型モータは実用的な応用と結びつき難いのだが、あえて光ファイバ駆動に挑戦した。円盤直径は550μm。

開発者:青木 優宇(当時:M1〜2)2001.4〜2003.2