光減衰器用マイクロミラーアレイ


このマイクロミラーは2次元の光ファイバアレイと組み合わせることを想定している。
2次元光ファイバアレイは精度上、中心ずれが3μm程度ある。
このマイクロミラーは直径60μmと小さいのであるが、コア径10μmの光ファイバ端面に近接させて利用するためアライメント余裕が十分あり、2次元の光減衰器アレイが構成できる。

開発者:結城 慎也(当時:B4)2002.4〜2002.9