Siのバックリングを利用した光スキャナ


Vertical Comb Driveを利用した静電駆動型光スキャナを製作する際には立体的なCombの配置を必要とする。

熱酸化したSiO2膜に蓄積された圧縮応力を利用することで、SOI-MEMSの標準プロセスに近い形で実現した。梁の反りで、ミラーを持ち上げている。梁の面内構造により縦方向変位をコントロールできる。

開発者:佐々木 実(当時:スイス留学)2002.8〜2003.2