ウエハ折り曲げプロセスで作った光スキャナ

Vertical Comb Driveを利用した静電駆動型光スキャナを製作する際には立体的なCombの配置を必要とする。それをSiウェハを局所的に異種材料で埋めた切込み線に沿って折り曲げるという大胆な手法を使うことで、簡単なプロセスで実現した。

ミラーサイズは1x0.7mm。プロセスの安定度は推敲していく。

開発者:石杜 昌弘(当時:D1〜2) , JongHyeong Song(当時:PD)
  2002.3〜2003.7