新しい立体構造を持つ光スキャナ


光スキャナをLaser Diodeをマウントする立体構造と一緒に製作した。

他の部品をはめ込めば光学系を構成できる。画面左がLD、右が熱駆動の光スキャナである。単純な平面リソグラフィでは実現できない立体で複雑な構造が実現されている。本研究室で開発をしている三次元フォトリソグラフィを応用した。

開発者:山口 高功(当時:M1〜2)2000.12〜2001.9