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Optical scanner with a novel 3D structure
Optical scanner fabricated by wafer fold process
Optical scanner using buckling of Si



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Micro mirror array for optical attenuator
In-plane comb-drive actuator
Cam type actuator for optical fiber driving



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Diaphrame type actuator
Diaphram type optical attenuator fabricated on D-type optical fiber surface
Integration technology for communication MEMS



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Optical fiber switch
Surface micromachined Fabry-Perot filter
Fiber grating wavelength variable filter



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Resist spray instrument
Electromagnetic actuator for twisting fiber grating
Probe for SNOM data storage (in English)
東北大学大学院ナノメカニクス専攻ナノシステム工学講座
Hane Lab.

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Transparent type position sensor (in English)
Projection type encoder (in English)
Interferometer by using Si thin-film photodiode (in English)
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Hane Lab. Top > Research Introduction
Professor Hane

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研究概要
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Reflectance reduction by using Sub-Wavelength-Structure(SWS)(in English)
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〒980-8579
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